Hochvakuum, Ultrahochvakuum und extrem hohes Vakuum
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Owis bietet ein großes Portfolio an Vakuumtechnik von Hochvakuum (HV), über Ultrahochvakuum (UHV) bis hin zu extrem hohem Vakuum (XHV). Es bginnt mit Positionierern und optischen Komponenten in Druckbereichen bis 10-6 mbar. Im Jahr 2017 erweiterte das Unternehmen den UHV bis 10-9 mbar mit neuen Ultrahochvakuum Produkten für eine erhebliche Ausweitung der Einsatzmöglichkeiten. Last but not least hat es sich in den letzten Jahren das Know-how für XHV Produkte im Bereich 10-11 mbar erarbeitet.
Inhalt
Hochvakuum HV Produkte
Für Hochvakuum Aanwendungen bietet Owis ein Portfolio an optischen Strahlführungssystemen und Positioniersystemen, die für Einsatzfälle im Bereich 10-6 mbar ausgelegt sind.
Alle Teile sind blank und gereinigt und werden im Reinraum montiert und vermessen. Die Sacklöcher sind entlüftet. Die Kugelgewindetriebe Feingewindespindeln und Führungen wurden mit HV-Fett befüllt und sind mit einem V6-Hall-Effektschalter oder mit mechanischen End- bzw. Referenzschaltern ausgestattet.
Ultrahochvakuum UHV Produkte
Bei der Fertigung der Ultrahochvakuum Produkte wird auf die Einhaltung höchster Standards geachtet. Alle UHV Produkte werden ohne Messing-Legierungen hergestellt. Zudem kommen ausschließlich Materialien in blankem Zustand ohne Beschichtung zum Einsatz.
Zur Vermeidung von virtuellen Lecks sind zusätzlich alle Sacklöcher entlüftet. Die Einzelteile werden vorab einer sorgfältigen Reinigung unterzogen und anschließend im Reinraum der ISO Klasse 5 montiert, vermessen und verpackt. Auf diese Art wird sichergestellt, dass die Produkte nicht durch Schmutzmoleküle verunreinigt werden.
Das Angebot, Produkte für Ultrahochvakuum zu fertigen, umfasst nahezu das komplette Produktprogramm, angefangen im Bereich der Strahlführungssysteme, beispielsweise Systemschienen und Optikhalter, bis hin zu manuellen und motorisierten Positionierern. Zur Einhaltung der Grenzwerte werden bei den motorisierten Varianten spezielle Ultrahoch Vakuum Motoren verwendet. Die Standardprodukte werden ohne End- beziehungsweise Referenzschalter geliefert, können aber auf Wunsch mit UHV tauglichen Schaltern ausgestattet werden.
Die Ultrahochvakuum Produkte müssen in der Vakuum Kammer bei Temperaturen um die 80 °C ausheizen und nach einem Heizzyklus von maximal 12 h gemessen. Es wird dabei ein Massenspektrum von 0 bis 100 u bei einem Druck geringer als 10-7 mbar aufgenommen. Die Spitzenwerte im Bereich 45 bis 100 u liegen mehr als zwei Dekaden unter dem höchsten Massenpeak des Vakuums im Bereich 0 bis 44 u.
Extrem hohes Vakuum XHV Produkte
Jüngste Errungenschaft ist das Portfolio im Bereich des extrem hohen Vakuum XHV. Owis hat sich hier in den letzten Jahren ein entsprechendes Know-how und die nötige Infrastruktur erarbeitet, um Vakuum Produkte für den Bereich 10-11 mbar zu realisieren.
Eingesetzt werden Aluminium vernickelte Bauteile sowie XHV geeignete Kunststoffe, Keramik und Fett. Auch hier sind die Sacklöcher entlüftet. Die XHV tauglichen Stecker sind am motorisierten Tsich montiert. Auf Anfrage gibt es End- und Referenzschalter. Wie alle anderen Vakuum Produkte werden auch die XHV im Reinraum gereinigt, vermessen und montiert sowie sicher verpackt und zweifach in Folie verschweißt geliefert.